联动科技请求一种晶圆的动态参数测验相关专利在进步对晶圆的动态参数测验功率的一起处理开关的杂散问题

  金融界2024年9月1日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，佛山市联动科技股份有限公司请求一项名为“一种晶圆的动态参数测验设备及测验办法“，公开号CN5.6，请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆的动态参数测验设备及测验办法，其间测验设备包括热沉放置座、动态测验机和三维驱动组织，热沉放置座顶端的装置槽用于供带有多个晶圆的晶圆片嵌装，装置槽与晶圆片的底端面围成装置腔；装置腔内设有加热板；装置腔连通有充氮气组件；装置槽的开口处设有衔接板，衔接板上设有与晶圆一一对应的测验针；衔接板的正上方设有PCB板；每个测验针的顶端衔接PCB板的焊盘，且底端衔接对应的晶圆的引脚；动态测验机设有测验座，测验座具有与至少一个测验针沿Z向对齐并与PCB板接触电衔接的测验状况；三维驱动组织用于驱动热沉放置座在X向、Y向和Z向进行移动。本发明在进步对晶圆的动态参数测验功率的一起处理动态开关参数的杂散问题。

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